產(chǎn)品簡介：
本設(shè)備主要用于太陽能電池生產(chǎn)線上硅片擴散后去磷硅玻璃的清洗處理。是一條集清洗、腐蝕、干燥為一體的全自動綜合清洗工藝線。全封閉結(jié)構(gòu)，依次進行HF腐蝕+氮氣鼓泡、QDR+氮氣鼓泡+噴淋、 下料、離心機甩干；設(shè)備采用單臂機械手，其工藝時間可以自行調(diào)節(jié)。能顯示溫度曲線、濃度變化曲線，及各個工位的工作狀態(tài)。酸槽具有自動補液裝置，可實現(xiàn)無間斷生產(chǎn)。具有報警說明，報警歷史查詢功能。對清洗用純水有電阻率監(jiān)測裝置，能存儲多個工藝方案。適合生產(chǎn)：125mm×125mm、156mm×156mm、210mm×210mm的硅片，厚度為160±30——200±30微米的硅片。
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